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提出了一种将多孔硅牺牲层应用于制作悬浮薄膜结构的方案.采用专用容器在不同浓度的HF溶液生成了多孔硅,并对其质量进行了比较.高......
近年来无线通信在全球范围内得到了迅猛的发展 ,对收发无线信号的天线尺寸的小型化和性能要求也在日益增加。微带贴片天线以其卓越......
未来的射频通信系统要求应用更加灵活、功能更加强大，同时又要求体积更小和功耗更低。微机电系统(MEMS)技术由于能制作出极小尺寸的......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
讨论了一种应用于X波段开关线型移相器中的新型低弹性系数RF-MEMS静电式开关的设计。通过对多臂梁式结构RF—MEMS开关的力学性能和......
设计了一种新型的集成RF—MEMS开关的混合分形可重构天线，该天线为加载了1阶Koch曲线的1阶Sierpinski三角垫片结构。仿真结果表明：所......
系统分析了反辐射武器和微型飞行器特点，提出了利用微型飞行嚣作为反辐射武器的概念，并在细致分析电磁导引头操作原理和微型飞行器特......
介绍了一种新型斜拉梁结构的电容耦合式开关的制作.该开关的上电极采用斜拉梁支撑结构以提高上电极的平整性和开关整体的可靠性,通......
介绍了微机电系统的基本原理及其在空间应用的发展概况,着重介绍了空间微传感器、微执行器、RF-MEMS、MOEMS、微仪器和微/纳卫星的......
综合介绍目前无线通讯产品中使用的各种类型RF-MEMS器件,统一说明RF-MEMS器件的基本工作原理,并分析RF-MEMS器件加工的关键工艺技......
